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L200 (LSI/FPD검사현미경)
반도체/FPD검사 현미경
– 고휘도 반사 투과조명
– 고배율 고해상도 샘플관찰
– 모터라이징 시스템
주요특징
L-Series
관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화
FPD / LSI 검사에 최적화된 4가지 타입으로 Line-up 구성
L200ND 반사/투과 타입 L300ND 반사/투과 타입
200mm Wafer 대응 300mm Wafer 대응
현미경 스테이지
L200N / L200ND 스테이지
– 측정 거리 : 205x205mm (8″x8″)
(6인치 / 8인치 Wafer 대응)
L300N / L300ND 스테이지
– 측정 거리 : 352x302mm (14″x12″)
(12인치 Wafer 대응)
대물렌즈 : CFI60-2
高NA와 長작동거리
– 1배부터 150배까지 다양한 렌즈
– 색수차 보정의 향상
환경대응력 및 조작성 향상
▶12V100W 이상의 밝기를 자랑하는 고휘도 12V50W 할로겐 조명
– 12V100W에 비해 약 1/2의 소비전력을 사용하며 동등 이상의 밝기 실현
– FREE CENTERING 램프하우스 채용으로 램프 교체가 용이
– 램프하우스에 BACK MIRROR가 장착. 12V100W 조명 대비 20% 이상의 밝기 구현
– 열에의한 Un-Focus 현상 방지
▶종래 대비 3배의 내구성 강화한 전동 Revolving Nosepiece
– 대물렌즈 6本 장착 가능
– 3곳에 Centering 보정 기구부 장착
– 편심이 적은 대물렌즈와의 조합으로 저배율~고배율 전환시 센터링 오차가 적어 사용이 편리
– 배율전환 시 자동으로 조명이 OFF되어 산란광에 의한 작업자의 시력 보호
▶종래 대비 3배의 내구성 강화한 전동 Revolving Nosepiece
– 대물렌즈 6本 장착 가능
– 3곳에 Centering 보정 기구부 장착
– 편심이 적은 대물렌즈와의 조합으로 저배율~고배율 전환시 센터링 오차가 적어 사용이 편리
– 배율전환 시 자동으로 조명이 OFF되어 산란광에 의한 작업자의 시력 보호
▶오염에 강한 정전기 방지 코팅
– 본체, 스테이지, 경통 등에 정전기 방기 코팅 채택
– 오염대책 강화
– 정전기에 의한 시료 손상 방지
▶최적의 Eye-Level에서 관찰가능한 정립 틸팅 3안 헤드
– 시야수 25mm 초광시야 타입, 틸팅 각도 30°
– 작업자 신장에 맞게 Eye-Level을 조정하여 편안한 관찰이 가능
▶스테이지 미동핸들 위치 고정
– 샘플 관찰위치에 상관없이 미동핸들위치가 바뀌지 않고 조정이 가능하여 조작이 편리
– 모든 조작부 위치가 근접해 있어 focusing 및 스테이지 이동 조작이 용이
▶초점 잡기가 편리한 Focus-Target 내장
– Focus-Targer을 광로에 삽입하여 Bear Wafer 등의 패턴이 없는 샘플관찰시에도 쉽고 빠르게 초점을 잡을 수 있습니다.
▶본체 전면부 중심에 조작부 배치
– 스테이지 이송 핸들, Focus 핸들, 배율전환 버튼 등 모든 조작부가 현미경 전면부에 배치
– 장시간 사용 시 작업자 피로도를 최소화한 디자인 설계
다양한 관찰지원
